製品情報

高温循環装置  ヒートエクステェンジャー

TEX-25A

商品コード: 0031547-000

フッ素系熱媒体専用、加熱温度コントロールに特化した循環装置。

主な用途

半導体製造装置等の加熱温度コントロール
化学製品の生産システムの加熱温度コントロール

ダウンロードファイル(有用情報)

総合カタログより ヒートエクステェンジャー TEX-25A (PDF:535KB)

特長

フッ素系熱媒体専用、高温度領域をコントロール

フッ素系熱媒体専用の設計により、+70℃~+200℃の幅広い高温域での正確な加熱温度コントロールが可能です(冷却用途には使用できません)。

液漏れの心配がないポンプ、制御はインバーター

循環ポンプはマグネットカップリングタイプのシールレスポンプを使用しているため、液漏れがありません。

短時間の降温が可能

冷却コイルに一次冷却水を循環することで、メンテナンス時などに短時間で温度を下げることが可能です。

仕様

型名TEX-25A
使用温度範囲 +70℃~+200℃
温度調節精度 PID制御、±2.0℃(*1)
ヒーター出力 2.5kW
ポンプ能力 流量:10L/min(0.2MPa、60Hz時)
モーター出力:0.75kW
昇温/降温時間 昇温時間(+70℃→+200℃):約30分(冷却水OFF)
降温時間(+200℃→+70℃):約25分(冷却水ON)
冷却水条件:約8L/min at +20℃(*2)
安全器/安全機能 漏電ブレーカー、高温、温度異常、空焚防止、液面上限、ポンプ過負荷
入出力機能 リモート温度設定入力、ヒーターON/OFF入力、冷却水ON/OFF入力、温度モニター信号出力、安全器作動信号外部出力
適用熱媒体(循環液) GALDEN HT270
循環液タンク容量 約3L(+リザーブタンク:約7L)
配管接続口径(循環液出入口、一次冷却水出入口) Rc1/2、Rc1/2
外形寸法 405×692×811Hmm
本体質量 約80kg
所要電源 三相AC200V・50/60Hz・15A
運転電流 12A
価格 お問い合わせください
(*1)循環流量が5L/min以上、装置単体で無負荷の場合です。
(*2)装置単体で無負荷の場合です。
●記載の仕様は、GALDEN HT270を使用した場合のものです。本製品の循環液は、この熱媒体が標準となります。
●本製品の使用環境温度範囲は、+7℃~+35℃です。
●本製品は大型で重量もあるため、搬送、設置などの費用は別途必要です。

別売部品

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低・高温用フッ素系熱媒体 GALDEN HTシリーズ


オゾン層保護関連法案、消防法の規制外。防爆対策も不要。
■適用機種 :ヒートエクステェンジャーTEX-25A、スーパークールSC-60

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