製品情報

超低温循環装置  スーパークール

SC-60

商品コード: 0081436-000

-60℃~+40℃と幅広い使用温度範囲の超低温用チラー。フッ素系熱媒体専用。

主な用途

エッチング装置等の冷却

特長

超低温からの幅広い使用温度範囲、フッ素系熱媒体専用

使用温度範囲は-60℃~+40℃、超低温下でも安定した冷却性能。循環液タンクは密閉式です。

液漏れの心配がないポンプ

循環ポンプはマグネットタイプのシールレスポンプを使用してるため、液漏れがありません。
※本機はスーパークール UC-70の後継機になります。

仕様

型名SC-60
使用温度範囲 -60℃~+40℃(*1)
温度調節精度 ヒーターPID制御、±0.5℃以内(*2)
冷却能力 1.0[kW]以上/循環液温-40℃(*3)
冷凍機(水冷式)出力 2.2kW/1.5kW
ポンプ能力 12[L/min]/ 0.15Mpa
モーター出力[kW]:0.75   ※インバータ駆動により、60Hz定速運転
ヒーター出力 2.4kW
安全器/安全機能 漏電ブレーカー、タンク内液面(異常)低下、冷凍機圧力、冷凍機過負荷、冷凍機過熱、ポンプ過負荷、循環液温、制御回路保護(過電流)、反相運転防止
警報機能 タンク内液面低下(補給)、循環液圧力上昇、ヒーター過熱 (*4)
入出力機能 安全器作動出力、循環液温度出力、循環液温度外部設定入力、装置運転信号出力、リモート運転信号入力、液補充信号出力
適用熱媒体(循環液) GALDEN HT110
循環液タンク容量 約15L(メイン+サブタンクにて)
所要一次冷却水量 冷却水温度+20℃:15L/min
冷却水温度+30℃:30L/min(*5)
配管接続口径(循環液出入口、一次冷却水出入口) 循環液出入口:Rc1/2(バルブ付)
冷却水出入口:Rc1/2(入口側にストレーナー、出口側に制水弁装備)
タンク/装置ドレン:Rc1/2(バルブ付)
外形寸法 640×820×1305Hmm
乾燥質量 約250kg
所要電源 三相AC200V・50/60Hz・30A
運転電流[A](50/60Hz) 約20A
価格 お問い合わせください
(*1)最低温度(-60℃)は無負荷の場合です。
(*2)循環流量6L/min以上で運転した場合です。
(*3)冷却能力は循環流量によって変化しますので、ご注意ください。
(*4)警報機能が作動した場合でも、装置の運転は継続されます。
(*5)所要冷却水が確保されない場合、冷却能力の低下や不具合発生の原因となります。
(*6)コネクタ接続用の信号線は付属しません。
●記載の仕様は、GALDEN HT110を使用した場合のものです。本製品の循環液は、この熱媒体が標準となります。
●本製品の使用環境温度範囲は、+5℃~+35℃です(ただし結露しないこと)。
●本体装置は大型で重量もあるため、搬送、設置などの費用は別途必要です。

別売部品

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低・高温用フッ素系熱媒体 GALDEN HTシリーズ


オゾン層保護関連法案、消防法の規制外。防爆対策も不要。
■適用機種 :ヒートエクステェンジャーTEX-25A、スーパークールSC-60

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